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光學真空鍍膜的品質檢測-真空鍍膜在線測厚儀

來源:林上 發布時間:2019/01/11 10:34:00 瀏覽次數:4471

光學真空鍍薄膜技術是一項集光學、電子、材料、真空、鍍膜等多個行業于一體的綜合性現代高新技術。光學性真空鍍膜產品應用越來越廣泛,比如真空鍍鋁膜是最經常見的。

真空鍍光學薄膜對于鍍層厚度要求技術較高,鍍膜過程中的厚度均勻性,決定了光學薄膜的光學性能。目前國內市場上有光學真空鍍膜在線檢測設備(運用光學透光率值來監測光學薄膜的鍍層厚度,也就是真空鍍膜在線測厚儀);利用真空鍍膜技術制備的各類光學薄膜已廣泛應用于光學、電子、材料、信息、通信、生物、醫學、環保、節能等國民經濟的各個領域,其作用越顯重要。

廣東省的光學薄膜領域經過三十多年的發展,從無到有,不僅已經形成了各種光學鏡頭鍍膜、光學濾光片、激光薄膜、紅外薄膜、眼鏡鍍膜、燈光照明鍍膜、幕墻玻璃鍍膜、透明導電膜、汽車鍍膜等產品組成的龐大光學薄膜產業群,最近十多年,更出現了應用于平板電視面板、手機面板、平板電腦面板、數碼相機鏡頭、光纖通信有源及無源器件、平板顯示器、觸摸屏等的薄膜器件以及太陽能薄膜、LED的MOCVD鍍膜等的光電功能薄膜等應用于信息、通信、能源等領域的更龐大、更先進的新興光學薄膜產業。

基于光學鍍膜技術,采用大角度傾斜沉積(Glancing Angle Deposition, GLAD)配合基片旋轉,可以制備出具有形貌可控的微納尺度的雕塑薄膜(Sculpture Thin Films, STF),展現了微納器件的雛形。典型的雕塑薄膜形貌有絲狀、斜柱狀、螺旋狀和zig-zag狀等,由于雕塑薄膜多樣可控的形貌特征和多孔的結構特征,使得其相對于傳統的光學薄膜具有更多新穎的光學特性,包括斜柱狀薄膜的雙折射特性、螺旋狀(手性)薄膜的光特性和圓布拉格特性、低折射率特性等,因此在光通信器件、LED等光學器件、三維光子晶體制備等方面都將有廣泛的應用前景。

但是目前光學真空鍍膜設備,對生產過程中鍍層厚度的均勻性較難掌控,總希望鍍層厚度在光學薄膜上分布的越均勻越好,當薄膜上沉積的金屬量相同時,如果厚度分布的不均勻,則會帶來很多壞處的,光學性能不穩定。導致光學真空鍍膜產品品質不高,實際作用自然就降低很多。

無論是從防蝕性,還是外觀、計加工性能等方面講,都希望提高鍍層厚度的均勻性,考慮到這一行業要求,林上光學儀器制造商根據光學透光率原理研發生產出一款真空鍍膜在線測厚儀,臺灣人喜歡稱為光密度在線檢測儀。透光率與光密度其實是同一光學參數,只是不同的叫法,之前存在固定的關系。

透光率在線檢測儀

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